產(chǎn)品型號(hào):MFM330
更新時(shí)間:2025-03-10
廠商性質(zhì):生產(chǎn)廠家
訪 問 量 :81
18168878188
產(chǎn)品分類
MFM毛細(xì)管熱質(zhì)量流量計(jì),直接測量較低流量范圍內(nèi)的清潔氣體和混合氣體的質(zhì)量流量。
產(chǎn)品特點(diǎn)
精準(zhǔn)質(zhì)量流量測量/控制
快速響應(yīng)、高重復(fù)性
不受溫度和壓力的影響
低壓損可選
集成顯示器可選
經(jīng)濟(jì)有效的解決方案
主要參數(shù)
介質(zhì)要求 潔凈干燥氣體
氣體種類 98+氣體可選
量程 10,20,50,100,300,500 sccm
0-1,2,5,10,20,30,50,100,200,500slpm
測量范圍 0.5%-100% F.S.
準(zhǔn)確度 ±0.5% F.S.
重復(fù)精度 ±0.2%F.S.
線性度 ±0.2%F.S.
分辨率 0.001 sccm(<10L/min),1sccm(10-50L/min)
傳感器響應(yīng)時(shí)間 <1s
預(yù)熱時(shí)間 5 min(T95),30 分鐘最佳
機(jī)械特性
最大工作壓力 3 MPa(30bar)
工作壓差范圍 0-1 MPa
工作溫度范圍 -20~65℃(環(huán)境和氣體)
濕度范圍 0 ~ 98%無凝露
氣路接頭類型 快插、快擰、卡套、VCR(可選)
氣體接觸材質(zhì) 氟橡膠、316不銹鋼
密封材質(zhì) 氟橡膠 FKM
防護(hù)等級(jí) IP40
安裝方式 水平安裝方向校準(zhǔn)
固定孔 M4 ? 5mm
重量 0.82kg
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