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愛拓利精準流量測控

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當前位置:首頁產品中心流量計氣體質量流量計MFM330江蘇氣體質量流量計

江蘇氣體質量流量計
產品簡介:

江蘇氣體質量流量計MFM毛細管熱質量流量計,直接測量較低流量范圍內的清潔氣體和混合氣體的質量流量。

產品型號:MFM330

更新時間:2025-03-10

廠商性質:生產廠家

訪 問 量 :90

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產品介紹

MFM毛細管熱質量流量計,直接測量較低流量范圍內的清潔氣體和混合氣體的質量流量。

    產品特點

精準質量流量測量/控制

快速響應、高重復性

不受溫度和壓力的影響

低壓損可選

集成顯示器可選

經濟有效的解決方案

介質要求  潔凈干燥氣體

氣體種類  98+氣體可選

量程 10,20,50,100,300,500 sccm

0-1,2,5,10,20,30,50,100,200,500slpm

測量范圍 0.5%-100% F.S.

準確度  ±0.5% F.S.

重復精度  ±0.2%F.S.

線性度  ±0.2%F.S.

分辨率  0.001 sccm(<10L/min),1sccm(10-50L/min)

傳感器響應時間  <1s

預熱時間  5 min(T95),30 分鐘最佳

  • 最大工作壓力
    3 MPa(30bar)
  • 工作壓差范圍
    0-1 MPa
  • 工作溫度范圍
    -20~65℃(環(huán)境和氣體)
  • 濕度范圍
    0 ~ 98%無凝露
  • 氣路接頭類型
    快插、快擰、卡套、VCR(可選)
  • 氣體接觸材質
    氟橡膠、316不銹鋼
  • 密封材質
    氟橡膠 FKM
  • 防護等級
    IP40
  • 安裝方式
    水平安裝方向校準
  • 固定孔
    M4 ? 5mm
  • 重量
    0.82kg


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