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當前位置:首頁產品中心流量計氣體質量流量控制器MFC330安徽氣體質量流量控制器

安徽氣體質量流量控制器
產品簡介:

安徽氣體質量流量控制器MFC330 系列氣體質量流量計/控制器,其結構包含毛細管柱式流量傳感器、旁路分流系統(tǒng)、高精度比例閥和控制系統(tǒng)。

被測氣體進入后,先通過傳感器和旁路分流系統(tǒng)。由傳感器實時測量氣體流量、高精度比例閥動態(tài)響應快速調節(jié)氣體流量至設定值。測量與調節(jié)流量的閉環(huán)結構,即使環(huán)境溫度變化或進出口氣壓波動,MFC330 依然能夠保持穩(wěn)定的流量控制。

產品型號:MFC330

更新時間:2025-03-07

廠商性質:生產廠家

訪 問 量 :113

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產品介紹

安徽氣體質量流量控制器MFC330 系列氣體質量流量計/控制器,其結構包含毛細管柱式流量傳感器、旁路分流系統(tǒng)、高精度比例閥和控制系統(tǒng)。

被測氣體進入后,先通過傳感器和旁路分流系統(tǒng)。由傳感器實時測量氣體流量、高精度比例閥動態(tài)響應快速調節(jié)氣體流量至設定值。測量與調節(jié)流量的閉環(huán)結構,即使環(huán)境溫度變化或進出口氣壓波動,MFC330 依然能夠保持穩(wěn)定的流量控制。

安徽氣體質量流量控制器

       產品特點

精準質量流量測量/控制

快速響應、高重復性

不受溫度和壓力的影響

工作壓差范圍大:0-1MPa

低壓損可選

全金屬比例閥可選

集成顯示器可選

經濟有效的解決方案

    主要參數(shù)

介質要求  潔凈干燥氣體

氣體種類  98+氣體可選

量程 0-2,10,20,50,100,300,500 sccm

0-1,2,5,10,20,30,50,100,200,500slpm

測量范圍  0.5%F.S.(1:200)

控制范圍  1%-100% FS.(1:100)

準確度 ±1% F.S.

重復精度  ±0.2%F.S.

線性度 ±0.2%F.S.

控制響應時間 <3 秒

預熱時間 5 min(T95),30 分鐘最佳

閥門 常閉式


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