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愛拓利精準流量測控

專注于微小氣體流量測量與控制

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成都氣體質(zhì)量流量控制器
產(chǎn)品簡介:

成都氣體質(zhì)量流量控制器 MFC330 系列氣體質(zhì)量流量計/控制器,其結(jié)構(gòu)包含毛細管柱式流量傳感器、旁路分流系統(tǒng)、高精度比例閥和控制系統(tǒng)。

被測氣體進入后,先通過傳感器和旁路分流系統(tǒng)。由傳感器實時測量氣體流量、高精度比例閥動態(tài)響應(yīng)快速調(diào)節(jié)氣體流量至設(shè)定值。測量與調(diào)節(jié)流量的閉環(huán)結(jié)構(gòu),即使環(huán)境溫度變化或進出口氣壓波動,MFC330 依然能夠保持穩(wěn)定的流量控制。

產(chǎn)品型號:MFC330

更新時間:2025-03-07

廠商性質(zhì):生產(chǎn)廠家

訪 問 量 :107

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產(chǎn)品介紹

成都氣體質(zhì)量流量控制器 MFC330 系列氣體質(zhì)量流量計/控制器,其結(jié)構(gòu)包含毛細管柱式流量傳感器、旁路分流系統(tǒng)、高精度比例閥和控制系統(tǒng)。

被測氣體進入后,先通過傳感器和旁路分流系統(tǒng)。由傳感器實時測量氣體流量、高精度比例閥動態(tài)響應(yīng)快速調(diào)節(jié)氣體流量至設(shè)定值。測量與調(diào)節(jié)流量的閉環(huán)結(jié)構(gòu),即使環(huán)境溫度變化或進出口氣壓波動,MFC330 依然能夠保持穩(wěn)定的流量控制。

成都氣體質(zhì)量流量控制器

         產(chǎn)品特點

精準質(zhì)量流量測量/控制

快速響應(yīng)、高重復性

不受溫度和壓力的影響

工作壓差范圍大:0-1MPa

低壓損可選

全金屬比例閥可選

集成顯示器可選

經(jīng)濟有效的解決方案

  • 介質(zhì)要求
    潔凈干燥氣體
  • 氣體種類
    98+氣體可選
  • 量程
    0-2,10,20,50,100,300,500 sccm
    0-1,2,5,10,20,30,50,100,200,500slpm
  • 測量范圍
    0.5%F.S.(1:200)
  • 控制范圍
    1%-100% FS.(1:100)
  • 準確度
    ±1% F.S.
  • 重復精度
    ±0.2%F.S.
  • 線性度
    ±0.2%F.S.
  • 控制響應(yīng)時間
    <3 秒
  • 預熱時間
    5 min(T95),30 分鐘最佳
  • 閥門
    常閉式


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