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上海氣體質(zhì)量流量控制器
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上海氣體質(zhì)量流量控制器MFC300 系列氣體質(zhì)量流量計(jì)/控制器,該系列采用 MEMS 流量傳感器,自帶溫度和壓力補(bǔ)償。具有響應(yīng)速度快,寬量程比、壓損小、體積小巧安裝方式靈活的特點(diǎn)。

產(chǎn)品型號(hào):MFC300

更新時(shí)間:2025-03-06

廠商性質(zhì):生產(chǎn)廠家

訪 問(wèn) 量 :117

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產(chǎn)品介紹

MFC300 系列氣體質(zhì)量流量計(jì)/控制器,該系列采用 MEMS 流量傳感器,自帶溫度和壓力補(bǔ)償。具有響應(yīng)速度快,寬量程比、壓損小、體積小巧安裝方式靈活的特點(diǎn)。

MFC300 產(chǎn)品采用單電源供電(15~40VDC);可模擬 量和數(shù)字通訊(CAN、RS485、RS232)顯示和控制氣體流 量,可以直接跟本公司的 MFC 控制器配合使用,也可以 直接連電腦通訊,并通過(guò)數(shù)字通訊改變控制流量或通訊 設(shè)置;也可以連二次儀表顯示;具有多氣體測(cè)量,高精 度,高穩(wěn)定性,極低零漂特性。

  • 介質(zhì)要求
    潔凈干燥無(wú)腐蝕性氣體
  • 氣體種類
    Air,N2,02,Ar,CH4,CO2
  • 測(cè)量和控制范圍
    0.2%-100%F.S. (1:500)
  • 準(zhǔn)確度
    ±0.5%F.S.
  • 重復(fù)精度
    ±0.5%F.S.
  • 線性度
    ±0.2%F.S.
  • 分辨率
    0.1 sccm,0-1000 sccm;1 sccm,1-5 slpm (0.01 sccm,0-50 sccm可選)
  • 傳感器響應(yīng)時(shí)間
    5ms
  • 控制響應(yīng)時(shí)間
    300ms
  • 預(yù)熱時(shí)間
    ≤1s
  • 閥門(mén)
    常閉式

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