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微小氣體質(zhì)量流量計(jì)MFM毛細(xì)管熱質(zhì)量流量計(jì),直接測(cè)量較低流量范圍內(nèi)的清潔氣體和混合氣體的質(zhì)量流量。

MFC300 氣體數(shù)顯流量控制器系列氣體質(zhì)量流量計(jì)/控制器，該系列采用 MEMS 流量傳感器，自帶溫度和壓力補(bǔ)償。具有響應(yīng)速度快，寬量程比、壓損小、體積小巧安裝方式靈活的特點(diǎn)。

MFC300 氣體質(zhì)量流量計(jì)廠家系列氣體質(zhì)量流量計(jì)/控制器，該系列采用 MEMS 流量傳感器，自帶溫度和壓力補(bǔ)償。具有響應(yīng)速度快，寬量程比、壓損小、體積小巧安裝方式靈活的特點(diǎn)。

MFC330系列是熱式氣體質(zhì)量流量控制器。由質(zhì)量流量傳感器、分流結(jié)構(gòu)、高精度比例閥和運(yùn)放電路等部件組成。

熱式流量控制器其結(jié)構(gòu)包含毛細(xì)管柱式流量傳感器、旁路分流系統(tǒng)、高精度比例閥和控制系統(tǒng)。

數(shù)顯氣體流量控制器是一種用于精確測(cè)量和控制氣體流量的設(shè)備，能夠直接測(cè)量通過(guò)流量計(jì)的介質(zhì)的質(zhì)量流量，還可測(cè)量介質(zhì)的密度及間接測(cè)量介質(zhì)的溫度。