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氣體數(shù)顯流量控制器
產品簡介:

MFC300 氣體數(shù)顯流量控制器系列氣體質量流量計/控制器,該系列采用 MEMS 流量傳感器,自帶溫度和壓力補償。具有響應速度快,寬量程比、壓損小、體積小巧安裝方式靈活的特點。

產品型號:MFC300

更新時間:2025-02-17

廠商性質:生產廠家

訪 問 量 :139

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產品介紹

MFC300 氣體數(shù)顯流量控制器系列氣體質量流量計/控制器,該系列采用 MEMS 流量傳感器,自帶溫度和壓力補償。具有響應速度快,寬量程比、壓損小、體積小巧安裝方式靈活的特點。

氣體數(shù)顯流量控制器

產品特點

超快響應:5ms 測量響應,300ms控制響應

高重復性,寬量程比

更小體積,安裝方便

無需預熱,使用便捷

分階流量控制軟件,靈活配置

        主要參數(shù)

介質要求 潔凈干燥無腐蝕性氣體

氣體種類 Air,N2,02,Ar,CH4,CO2

測量和控制范圍  0.2%-1 00%F.S. (1:500)

準確度  ±0.5%F.S.

重復精度  ±0.5%F.S.

線性度 ±0.2%F.S.

分辨率 0.1 sccm,0-1000 sccm;1 sccm,1-5 slpm (0.01 sccm,0-50 sccm可選)

傳感器響應時間 5ms

控制響應時間 300ms

預熱時間 ≤1s

閥門 常閉式





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