產(chǎn)品分類
氮?dú)赓|(zhì)量流量控制器廠家MFC330 系列氣體質(zhì)量流量計(jì)/控制器,其結(jié)構(gòu)包含毛細(xì)管柱式流量傳感器、旁路分流系統(tǒng)、高精度比例閥和控制系統(tǒng)。 被測(cè)氣體進(jìn)入后,先通過(guò)傳感器和旁路分流系統(tǒng)。由傳感器實(shí)時(shí)測(cè)量氣體流量、高精度比例閥動(dòng)態(tài)響應(yīng)快速調(diào)節(jié)氣體流量至設(shè)定值。測(cè)量與調(diào)節(jié)流量的閉環(huán)結(jié)構(gòu),即使環(huán)境溫度變化或進(jìn)出口氣壓波動(dòng), 依然能夠保持穩(wěn)定的流量控制。
高精度氣體流量控制器廠家MFC330 系列氣體質(zhì)量流量計(jì)/控制器,其結(jié)構(gòu)包含毛細(xì)管柱式流量傳感器、旁路分流系統(tǒng)、高精度比例閥和控制系統(tǒng)。 被測(cè)氣體進(jìn)入后,先通過(guò)傳感器和旁路分流系統(tǒng)。由傳感器實(shí)時(shí)測(cè)量氣體流量、高精度比例閥動(dòng)態(tài)響應(yīng)快速調(diào)節(jié)氣體流量至設(shè)定值。測(cè)量與調(diào)節(jié)流量的閉環(huán)結(jié)構(gòu),即使環(huán)境溫度變化或進(jìn)出口氣壓波動(dòng), 依然能夠保持穩(wěn)定的流量控制。
熱式質(zhì)量流量計(jì) 系列氣體質(zhì)量流量計(jì)/控制器,其結(jié)構(gòu)包含毛細(xì)管柱式流量傳感器、旁路分流系統(tǒng)、高精度比例閥和控制系統(tǒng)。 被測(cè)氣體進(jìn)入后,先通過(guò)傳感器和旁路分流系統(tǒng)。由傳感器實(shí)時(shí)測(cè)量氣體流量、高精度比例閥動(dòng)態(tài)響應(yīng)快速調(diào)節(jié)氣體流量至設(shè)定值。測(cè)量與調(diào)節(jié)流量的閉環(huán)結(jié)構(gòu),即使環(huán)境溫度變化或進(jìn)出口氣壓波動(dòng),MFC330 依然能夠保持穩(wěn)定的流量控制。
由流量傳感器、分流器、通道、流量調(diào)節(jié)閥和控制電路等部件組成,結(jié)構(gòu)如上圖所示。氣體通過(guò)質(zhì)量流量控制器(簡(jiǎn)稱MFC)時(shí),大部分氣體通過(guò)層流元件,成比例的部分氣體通過(guò)流量傳感器。 采用恒溫差方案的熱式傳感器將流量信號(hào)轉(zhuǎn)換為申信號(hào),以此為基準(zhǔn)測(cè)量當(dāng)前通過(guò)MFC的氣體流量大小.
MFC330 系列氣體質(zhì)量流量計(jì)/控制器,其結(jié)構(gòu)包含毛細(xì)管柱式流量傳感器、旁路分流系統(tǒng)、高精度比例閥和控制系統(tǒng)。 被測(cè)氣體進(jìn)入后,先通過(guò)傳感器和旁路分流系統(tǒng)。由傳感器實(shí)時(shí)測(cè)量氣體流量、高精度比例閥動(dòng)態(tài)響應(yīng)快速調(diào)節(jié)氣體流量至設(shè)定值。測(cè)量與調(diào)節(jié)流量的閉環(huán)結(jié)構(gòu),即使環(huán)境溫度變化或進(jìn)出口氣壓波動(dòng),依然能夠保持穩(wěn)定的流量控制。
氮?dú)赓|(zhì)量流量控制器(MFC)是一種用于精確測(cè)量和控制氣體質(zhì)量流量的設(shè)備?。 該設(shè)備的工作原理基于流體力學(xué)和傳熱原理,通過(guò)質(zhì)量流量傳感器測(cè)量氣體流經(jīng)管道時(shí)的壓差和溫度變化,進(jìn)而計(jì)算出氣體的質(zhì)量流量,并通過(guò)控制閥門調(diào)節(jié)氣體流量,使其保持在設(shè)定的范圍內(nèi)?。
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