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當前位置:首頁產品中心流量計氣體質量流量控制器MFC330氮氣質量流量控制器

氮氣質量流量控制器
產品簡介:

氮氣質量流量控制器(MFC)是一種用于精確測量和控制氣體質量流量的設備?。
該設備的工作原理基于流體力學和傳熱原理,通過質量流量傳感器測量氣體流經管道時的壓差和溫度變化,進而計算出氣體的質量流量,并通過控制閥門調節(jié)氣體流量,使其保持在設定的范圍內?。

產品型號:MFC330

更新時間:2025-02-24

廠商性質:生產廠家

訪 問 量 :151

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產品介紹

氮氣質量流量控制器MFC330 系列氣體質量流量計/控制器,其結構包含毛細管柱式流量傳感器、旁路分流系統(tǒng)、高精度比例閥和控制系統(tǒng)。

被測氣體進入后,先通過傳感器和旁路分流系統(tǒng)。由傳感器實時測量氣體流量、高精度比例閥動態(tài)響應快速調節(jié)氣體流量至設定值。測量與調節(jié)流量的閉環(huán)結構,即使環(huán)境溫度變化或進出口氣壓波動,MFC330 依然能夠保持穩(wěn)定的流量控制。

氮氣質量流量控制器

   產品特點

精準質量流量測量/控制

快速響應、高重復性

不受溫度和壓力的影響

工作壓差范圍大:0-1MPa

低壓損可選

全金屬比例閥可選

集成顯示器可選

經濟有效的解決方案

    主要參數

介質要求  潔凈干燥氣體

氣體種類   98+氣體可選

量程 0-2,10,20,50,100,300,500 sccm

0-1,2,5,10,20,30,50,100,200,500slpm

測量范圍  0.5%F.S.(1:200)

控制范圍  1%-100% FS.(1:100)

準確度  ±1% F.S.

重復精度  ±0.2%F.S.

線性度  ±0.2%F.S.

控制響應時間  <3 秒

預熱時間  5 min(T95),30 分鐘最佳

閥門 常閉式

     機械特性

最大工作壓力  3 MPa(30bar)

工作壓差范圍  0-1 MPa

工作溫度范圍  -20~65℃(環(huán)境和氣體)

溫度范圍   0 ~ 98%無凝露

氣路接頭類型  卡套、VCR、快插、快擰(可選)

氣體接觸材質  氟橡膠、304/316不銹鋼

密封材質  氟橡膠 FKM

防護等級  IP40

安裝方式  水平安裝方向校準

固定孔  M4 ? 5mm

重量  0.96kg

     電氣和通訊

電氣連接接口類型   DB-9 公頭

模擬信號  0 - 5 VDC,4 - 20 mA(可定制)

輸入輸出阻抗  輸入阻抗>10MΩ,輸出阻抗<1KΩ

模擬數據更新頻率  200Hz

數字信號  Modbus RTU (RS232, RS485), CAN

通信速率  9600(默認),14400,19200,38400,56000,57600,115200 bps(用戶可修改)

電源  15-40 VDC,<200 mA

顯示更新頻率  50Hz

模擬信號精度  ±0.05%F.S.

氮氣質量流量控制器

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