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安徽氣體質(zhì)量流量控制器
產(chǎn)品簡介:

安徽氣體質(zhì)量流量控制器 MFC300 系列氣體質(zhì)量流量計/控制器,該系列采用 MEMS 流量傳感器,自帶溫度和壓力補償。具有響應(yīng)速度快,寬量程比、壓損小、體積小巧安裝方式靈活的特點。

產(chǎn)品型號:MFC300

更新時間:2025-03-27

廠商性質(zhì):生產(chǎn)廠家

訪 問 量 :70

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產(chǎn)品介紹

安徽氣體質(zhì)量流量控制器 MFC300 系列氣體質(zhì)量流量計/控制器,該系列采用 MEMS 流量傳感器,自帶溫度和壓力補償。具有響應(yīng)速度快,寬量程比、壓損小、體積小巧安裝方式靈活的特點。

安徽氣體質(zhì)量流量控制器

    產(chǎn)品特點

超快響應(yīng):5ms 測量響應(yīng),300ms控制響應(yīng)

高重復(fù)性,寬量程比

更小體積,安裝方便

無需預(yù)熱,使用便捷

分階流量控制軟件,靈活配置

技術(shù)參數(shù)
主要參數(shù)
  • 介質(zhì)要求
    潔凈干燥無腐蝕性氣體
  • 氣體種類
    Air,N2,02,Ar,CH4,CO2
  • 測量和控制范圍
    0.2%-100%F.S. (1:500)
  • 準確度
    ±0.5%F.S.
  • 重復(fù)精度
    ±0.5%F.S.
  • 線性度
    ±0.2%F.S.
  • 分辨率
    0.1 sccm,0-1000 sccm;1 sccm,1-5 slpm (0.01 sccm,0-50 sccm可選)
  • 傳感器響應(yīng)時間
    5ms
  • 控制響應(yīng)時間
    300ms
  • 預(yù)熱時間
    ≤1s
  • 閥門
    常閉式


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