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安徽氣體質(zhì)量流量控制器
產(chǎn)品簡介：

安徽氣體質(zhì)量流量控制器 MFC300 系列氣體質(zhì)量流量計/控制器，該系列采用 MEMS 流量傳感器，自帶溫度和壓力補償。具有響應(yīng)速度快，寬量程比、壓損小、體積小巧安裝方式靈活的特點。

產(chǎn)品型號：MFC300

更新時間：2025-03-27

廠商性質(zhì)：生產(chǎn)廠家

訪 問 量 ：70

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產(chǎn)品介紹

安徽氣體質(zhì)量流量控制器 MFC300 系列氣體質(zhì)量流量計/控制器，該系列采用 MEMS 流量傳感器，自帶溫度和壓力補償。具有響應(yīng)速度快，寬量程比、壓損小、體積小巧安裝方式靈活的特點。

安徽氣體質(zhì)量流量控制器

    產(chǎn)品特點

超快響應(yīng)：5ms 測量響應(yīng)，300ms控制響應(yīng)

高重復(fù)性，寬量程比

更小體積，安裝方便

無需預(yù)熱，使用便捷

分階流量控制軟件，靈活配置

技術(shù)參數(shù)
主要參數(shù)
  • 介質(zhì)要求
    潔凈干燥無腐蝕性氣體
  • 氣體種類
    Air，N2，02，Ar，CH4，CO2
  • 測量和控制范圍
    0.2%-100%F.S. （1:500）
  • 準確度
    ±0.5%F.S.
  • 重復(fù)精度
    ±0.5%F.S.
  • 線性度
    ±0.2%F.S.
  • 分辨率
    0.1 sccm，0-1000 sccm;1 sccm，1-5 slpm （0.01 sccm，0-50 sccm可選）
  • 傳感器響應(yīng)時間
    5ms
  • 控制響應(yīng)時間
    300ms
  • 預(yù)熱時間
    ≤1s
  • 閥門
    常閉式


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