產(chǎn)品型號(hào):MFC300
更新時(shí)間:2025-03-26
廠商性質(zhì):生產(chǎn)廠家
訪 問 量 :63
18168878188
產(chǎn)品分類
氮?dú)鈿怏w流量控制器MFC300 系列氣體質(zhì)量流量計(jì)/控制器,該系列采用 MEMS 流量傳感器,自帶溫度和壓力補(bǔ)償。具有響應(yīng)速度快,寬量程比、壓損小、體積小巧安裝方式靈活的特點(diǎn)。
產(chǎn)品特點(diǎn)
超快響應(yīng):5ms 測量響應(yīng),300ms控制響應(yīng)
高重復(fù)性,寬量程比
更小體積,安裝方便
無需預(yù)熱,使用便捷
分階流量控制軟件,靈活配置
技術(shù)參數(shù)
主要參數(shù)
介質(zhì)要求 潔凈干燥無腐蝕性氣體
氣體種類 Air,N2,02,Ar,CH4,CO2
測量和控制范圍 0.2%-100%F.S. (1:500)
準(zhǔn)確度 ±0.5%F.S.
重復(fù)精度 ±0.5%F.S.
線性度 ±0.2%F.S.
分辨率 0.1 sccm,0-1000 sccm;1 sccm,1-5 slpm (0.01 sccm,0-50 sccm可選)
傳感器響應(yīng)時(shí)間 5ms
控制響應(yīng)時(shí)間 300ms
預(yù)熱時(shí)間 ≤1s
閥門 常閉式
機(jī)械特性
最大工作壓力 1.1 MPa(11bar)
工作壓差范圍 0-1 MPa
工作溫度范圍 0-65℃(環(huán)境和氣體)
濕度范圍 0 - 98%無凝露
氣路接頭類型 快插、快擰、卡套、VCR(可選)
氣體接觸材質(zhì) 氟橡膠、黃銅、300-系列不銹鋼、硅
密封材質(zhì) 氟橡膠 FKM
防護(hù)等級(jí) IP40
安裝方式 任意方向安裝
固定孔 M4 ? 5mm
重量 0.38kg
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