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愛拓利精準(zhǔn)流量測(cè)控

專注于微小氣體流量測(cè)量與控制

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空氣流量計(jì)廠家
產(chǎn)品簡(jiǎn)介:

空氣流量計(jì)廠家MFC300 系列氣體質(zhì)量流量計(jì)/控制器,該系列采用 MEMS 流量傳感器,自帶溫度和壓力補(bǔ)償。具有響應(yīng)速度快,寬量程比、壓損小、體積小巧安裝方式靈活的特點(diǎn)。

產(chǎn)品型號(hào):MFC300

更新時(shí)間:2025-03-21

廠商性質(zhì):生產(chǎn)廠家

訪 問 量 :91

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產(chǎn)品介紹

空氣流量計(jì)廠家MFC300 系列氣體質(zhì)量流量計(jì)/控制器,該系列采用 MEMS 流量傳感器,自帶溫度和壓力補(bǔ)償。具有響應(yīng)速度快,寬量程比、壓損小、體積小巧安裝方式靈活的特點(diǎn)。

空氣流量計(jì)廠家

  產(chǎn)品特點(diǎn)

超快響應(yīng):5ms 測(cè)量響應(yīng),300ms控制響應(yīng)

高重復(fù)性,寬量程比

更小體積,安裝方便

無需預(yù)熱,使用便捷

分階流量控制軟件,靈活裝置

    主要參數(shù)

介質(zhì)要求  潔凈干燥無腐蝕性氣體

氣體種類  Air,N2,02,Ar,CH4,CO2

測(cè)量和控制范圍 0.2%-100%F.S. (1:500)

準(zhǔn)確度  ±0.5%F.S.

重復(fù)精度 ±0.5%F.S.

線性度  ±0.2%F.S.

分辨率  0.1 sccm,0-1000 sccm;1 sccm,1-5 slpm (0.01 sccm,0-50 sccm可選)

傳感器響應(yīng)時(shí)間  5ms

控制響應(yīng)時(shí)間  300ms

預(yù)熱時(shí)間  ≤1s

閥門  常閉式


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