產(chǎn)品型號:MFC330
更新時間:2025-03-21
廠商性質(zhì):生產(chǎn)廠家
訪 問 量 :81
18168878188
產(chǎn)品分類
微小氣體質(zhì)量流量計廠家MFC330 系列氣體質(zhì)量流量計/控制器,產(chǎn)品基于毛細管柱熱式原理,主 要用于對氣體的質(zhì)量流量進行精確測量和控制。 MFM/MFC330 系列氣體質(zhì)量流量控制器具有精度高、重復(fù)性好、響應(yīng)速度快、穩(wěn)定性好、工作壓力范圍 寬、極低零漂等特點。模擬量和數(shù)字量等多種通訊方式可選,內(nèi)置顯示屏可選,操作配置靈活。 MFM/MFC330廣泛應(yīng)用于半導(dǎo)體制造、真空鍍膜、特種材料學(xué)科、石油化工、醫(yī)藥、環(huán)保等行業(yè)的氣流 測量和控制。其典型的應(yīng)用場合包括: 電子工藝設(shè)備, 如擴散、氧化、外延、CVD、等離子刻蝕、濺射、 離子注入; 以及鍍膜設(shè)備、光纖熔煉、微反應(yīng)裝置、混氣配氣系統(tǒng)、毛細管測量、氣相色譜儀、光譜儀、 質(zhì)譜儀及其它分析儀器。
氣體質(zhì)量流量通常用標準狀態(tài)下的體積流量來表示,由于標準狀態(tài)下氣體的密度是一個常數(shù), 該密度乘以標準狀態(tài)下的體積就是質(zhì)量數(shù)。所以標準狀態(tài)下的體積流量就等同于質(zhì)量流量。 質(zhì)量流量單位為: SCCM: 標準毫升/分鐘;SLPM: 標準升/分鐘 標準狀況定義為: 溫度 20℃(293.15K);氣壓 1 atm(101.325Kpa,760mmHg) 單位 SCCM 等同于“mL/min, 20℃, 1atm),單位 SLPM 等同于“L/min, 20℃, 1atm) 氣體質(zhì)量流量計/流量控制器出廠通常用 N2 氮氣標定,亦可按照用戶要求的氣體來進行特標。 MFC/MFM 的標準安裝方式為水平安裝,其他安裝方式請聯(lián)系廠家獲取技術(shù)支持。
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