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愛拓利精準(zhǔn)流量測控

專注于微小氣體流量測量與控制

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當(dāng)前位置：首頁產(chǎn)品中心流量計(jì)氣體質(zhì)量流量計(jì)MFM330氣體質(zhì)量流量計(jì)

氣體質(zhì)量流量計(jì)
產(chǎn)品簡介：

MFM330 氣體質(zhì)量流量計(jì)結(jié)構(gòu)包含毛細(xì)管柱式流量傳感器、旁路分流系統(tǒng)、高精度比例閥和控制系統(tǒng)。

產(chǎn)品型號：MFM330

更新時間：2025-01-10

廠商性質(zhì)：生產(chǎn)廠家

訪 問 量 ：321

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產(chǎn)品介紹

MFM330氣體質(zhì)量流量計(jì)，其結(jié)構(gòu)包含毛細(xì)管柱式流量傳感器、旁路分流系統(tǒng)、高精度比例閥和控制系統(tǒng)。

被測氣體進(jìn)入后，先通過傳感器和旁路分流系統(tǒng)。由傳感器實(shí)時測量氣體流量、高精度比例閥動態(tài)響應(yīng)快速調(diào)節(jié)氣體流量至設(shè)定值。測量與調(diào)節(jié)流量的閉環(huán)結(jié)構(gòu)，即使環(huán)境溫度變化或進(jìn)出口氣壓波動，MFM330氣體質(zhì)量流量計(jì)依然能夠保持穩(wěn)定的流量控制。氣體質(zhì)量流量計(jì)

MFC330工作原理：

產(chǎn)品特點(diǎn)

精準(zhǔn)質(zhì)量流量測量/控制

快速響應(yīng)、高重復(fù)性

不受溫度和壓力的影響

工作壓差范圍大：0-1MPa

低壓損可選

全金屬比例閥可選

集成顯示器可選

經(jīng)濟(jì)有效的解決方案


主要參數(shù)：
介質(zhì)要求
潔凈干燥氣體
氣體種類
98+氣體可選
量程
10，20，50，100，300，500 sccm；0-1，2，5，10，20，30，50，100，200，500slpm
測量范圍
0.5%-100% F.S.
準(zhǔn)確度
±0.5% F.S.
重復(fù)精度
±0.2%F.S.
線性度
±0.2%F.S.
分辨率
0.001 sccm（<10L/min），1sccm（10-50L/min）
傳感器響應(yīng)時間
<1s
預(yù)熱時間
5 min（T95），30 分鐘最佳
泄漏率
1*10-11Pa.m3/sec He


機(jī)械特性：
最大工作壓力
3 MPa（30bar）
工作壓差范圍
0-1 MPa
工作溫度范圍
-20~65℃℃（環(huán)境和氣體）
溫度范圍
0 ~ 98%無凝露
氣路接頭類型
快插、快擰、卡套、VCR（可選）
氣體接觸材質(zhì)
氟橡膠、316不銹鋼
密封材質(zhì)
氟橡膠 FKM
防護(hù)等級
IP40
安裝方式
水平安裝方向校準(zhǔn)
固定孔
M4 ↓ 5mm
重量
0.82kg


電氣和通訊：
電氣連接接口類型
DB-9 公頭
模擬信號
0 - 5 VDC，4 - 20 mA（可定制）
輸入輸出阻抗
輸入阻抗>10MΩ，輸出阻抗<1KΩ
模擬數(shù)據(jù)更新頻率
200Hz
數(shù)字信號
RTU （RS232， RS485），CAN
通信速率
9600（默認(rèn)），14400，19200，38400，56000，57600，115200 bps（可修改）
電源
15-40 VDC，<200 mA
顯示更新頻率
50Hz
模擬信號精度
±0.05%F.S.


特征：
標(biāo)況
20℃ & 1 atm
氣體選擇
98種氣體可選，具體參考說明書氣體系數(shù)
軟件
Aitoly分階流量軟件


尺寸：
滿量程高款深度ABCDE重量
2 sccm~50 slpm125.00 mm76.00 mm32.00 mm64.00 mm17.80 mm7.00 mm6.00 mmM4 ↓ 5 mm≈0.82 kg
4.921 in2.992 in1.260 in2.520 in0.701 in0.276 in0.236 inM4 ↓ 0.197 in≈2.1 lb
100 sccm~500 slpm138 mm82 mm38 mm62 mm30 mm10 mm10 mmM4 ↓ 8 mm≈1 kg
5.43 in3.22 in1.496 in2.440 in1.181 in0.157 in0.393 inM4 ↓ 0.31 in≈2.21 lb


氣體質(zhì)量流量計(jì)
產(chǎn)品選型：
氣體質(zhì)量流量計(jì)





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