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愛拓利精準(zhǔn)流量測控

專注于微小氣體流量測量與控制

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當(dāng)前位置：首頁產(chǎn)品中心流量計(jì)氣體質(zhì)量流量控制器MFC330-05S氣體質(zhì)量流量控制器

氣體質(zhì)量流量控制器
產(chǎn)品簡介：

MFC330-05S 氣體質(zhì)量流量控制器結(jié)構(gòu)包含毛細(xì)管柱式流量傳感器、旁路分流系統(tǒng)、高精度比例閥和控制系統(tǒng)。

產(chǎn)品型號：MFC330-05S

更新時(shí)間：2025-01-09

廠商性質(zhì)：生產(chǎn)廠家

訪 問 量 ：304

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產(chǎn)品介紹

MFC330-05S 氣體質(zhì)量流量控制器，其結(jié)構(gòu)包含毛細(xì)管柱式流量傳感器、旁路分流系統(tǒng)、高精度比例閥和控制系統(tǒng)。

被測氣體進(jìn)入后，先通過傳感器和旁路分流系統(tǒng)。由傳感器實(shí)時(shí)測量氣體流量、高精度比例閥動(dòng)態(tài)響應(yīng)快速調(diào)節(jié)氣體流量至設(shè)定值。測量與調(diào)節(jié)流量的閉環(huán)結(jié)構(gòu)，即使環(huán)境溫度變化或進(jìn)出口氣壓波動(dòng)，MFC330-05S 氣體質(zhì)量流量控制器依然能夠保持穩(wěn)定的流量控制。

氣體質(zhì)量流量控制器
MFC330工作原理

 

產(chǎn)品特點(diǎn)：

精準(zhǔn)質(zhì)量流量測量/控制

快速響應(yīng)、高重復(fù)性

不受溫度和壓力的影響

工作壓差范圍大：0-1MPa

低壓損可選

全金屬比例閥可選

集成顯示器可選

經(jīng)濟(jì)有效的解決方案

 

主要參數(shù)：
介質(zhì)要求
潔凈干燥氣體
氣體種類
98+氣體可選
量程
0-2，10，20，50，100，300，500 sccm；0-1，2，5，10，20，30，50，100，200，500slpm
測量范圍
0.5%F.S.（1:200）
控制范圍
1%-100% FS.（1:100）
準(zhǔn)確度
標(biāo)準(zhǔn)：±1% F.S.
高精度
±0.5%
重復(fù)精度
±0.2%F.S.
線性度
±0.2%F.S.
控制響應(yīng)時(shí)間
<3 秒
預(yù)熱時(shí)間
5 min（T95），30 分鐘最佳
閥門
常閉式
泄漏率
1*10-11Pa.m³/sec He

 

機(jī)械特性：

最大工作壓力
3 MPa（30bar）
工作壓差范圍
0-1 MPa
工作溫度范圍
-20~65℃（環(huán)境和氣體）
溫度范圍
0 ~ 98%無凝露
氣路接頭類型
卡套、VCR、快插、快擰（可選）
氣體接觸材質(zhì)
氟橡膠、304/316不銹鋼
密封材質(zhì)
氟橡膠 FKM
防護(hù)等級
IP40
安裝方式
水平安裝方向校準(zhǔn)
固定孔
M4 ↓ 5mm
重量
0.96kg

 

電氣和通訊：

電氣連接接口類型
DB-9 公頭
模擬信號
0 - 5 VDC，4 - 20 mA（可定制）
輸入輸出阻抗
輸入阻抗>10MΩ，輸出阻抗<1KΩ
模擬數(shù)據(jù)更新頻率
200Hz
數(shù)字信號
Modbus RTU （RS232， RS485）， CAN
通信速率
9600（默認(rèn)），14400，19200，38400，56000，57600，115200 bps（用戶可修改）
電源
15-40 VDC，<200 mA
顯示更新頻率
50Hz
模擬信號精度
±0.05%F.S.

 

特征：
標(biāo)況
20℃，1 atm
氣體選擇
可選，具體參考說明書氣體系數(shù)
軟件
Aitoly分階流量軟件

 

尺寸：
滿量程 高 款 深度 A B C D E 重量
2 sccm~50 slpm 125.00 mm 76.00 mm 32.00 mm 64.00 mm 17.80 mm 7.00 mm 6.00 mm M4 ↓ 5 mm ≈0.96 kg
4.921 in 2.992 in 1.260 in 2.520 in 0.701 in 0.276 in 0.236 in M4 ↓ 0.197 in ≈2.1 lb
100 sccm~500 slpm 138 mm 82 mm 38 mm 62 mm 30 mm 10 mm 10 mm M4 ↓ 8 mm ≈1.3 kg
5.43 in 3.22 1.496 2.220 1.181 0.393 0.393 in M4 ↓ 0.31 in ≈2.88 lb

 

 

產(chǎn)品選型：

 

 

 

 

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