氣體質量流量控制器

產品簡介：

MFC330-05E 氣體質量流量控制器結構包含毛細管柱式流量傳感器、旁路分流系統(tǒng)、高精度比例閥和控制系統(tǒng)。

產品型號：MFC330-05E

更新時間：2025-01-09

廠商性質：生產廠家

訪問量：318

服務熱線

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產品分類

PRODUCT CLASSIFICATION

流量計

氣密性測漏儀皂膜氣體流量標準裝置流量顯示儀氣體質量流量計氣體質量流量控制器流量控制器

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產品介紹

MFC330-05E氣體質量流量控制器，其結構包含毛細管柱式流量傳感器、旁路分流系統(tǒng)、高精度比例閥和控制系統(tǒng)。

被測氣體進入后，先通過傳感器和旁路分流系統(tǒng)。由傳感器實時測量氣體流量、高精度比例閥動態(tài)響應快速調節(jié)氣體流量至設定值。測量與調節(jié)流量的閉環(huán)結構，即使環(huán)境溫度變化或進出口氣壓波動，MFC330-05E氣體質量流量控制器依然能夠保持穩(wěn)定的流量控制。

MFC330工作原理：

產品特點

精準質量流量測量/控制

快速響應、高重復性

不受溫度和壓力的影響

工作壓差范圍大：0-1MPa

低壓損可選

全金屬比例閥可選

集成顯示器可選

經濟有效的解決方案

主要參數：

介質要求

潔凈干燥氣體

氣體種類

98+氣體可選

量程

0-2，10，20，50，100，300，500 sccm；0-1，2，5，10，20，30，50，100，200，500slpm

測量范圍

0.5%F.S.（1:200）

控制范圍

1%-100% FS.（1:100）

準確度

標準：±1% F.S.

高精度

±0.5%

重復精度

±0.2%F.S.

線性度

±0.2%F.S.

控制響應時間

<3 秒

預熱時間

5 min（T95），30 分鐘最佳

閥門

常閉式

泄漏率

1*10-11Pa.m3/sec He

機械特性

最大工作壓力

3 MPa（30bar）

工作壓差范圍

0-1 MPa

工作溫度范圍

-20~65℃（環(huán)境和氣體）

溫度范圍

0 ~ 98%無凝露

氣路接頭類型

卡套、VCR、快插、快擰（可選）

氣體接觸材質

氟橡膠、304/316不銹鋼

密封材質

氟橡膠 FKM

防護等級

IP40

安裝方式

水平安裝方向校準

固定孔

M4 ↓ 5mm

重量

0.96kg

電氣和通訊

電氣連接接口類型

DB-9 公頭

模擬信號

0 - 5 VDC，4 - 20 mA（可定制）

輸入輸出阻抗

輸入阻抗>10MΩ，輸出阻抗<1KΩ

模擬數據更新頻率

200Hz

數字信號

Modbus RTU （RS232， RS485）， CAN

通信速率

9600（默認），14400，19200，38400，56000，57600，115200 bps（用戶可修改）

電源

15-40 VDC，<200 mA

顯示更新頻率

50Hz

模擬信號精度

±0.05%F.S.

特征

標況

20℃，1 atm

氣體選擇

可選，具體參考說明書氣體系數

軟件

Aitoly分階流量軟件

尺寸：

滿量程	高	款	深度	A	B	C	D	E	重量
2 sccm~50 slpm	125.00 mm	76.00 mm	32.00 mm	64.00 mm	17.80 mm	7.00 mm	6.00 mm	M4 ↓ 5 mm	≈0.96 kg
2 sccm~50 slpm	4.921 in	2.992 in	1.260 in	2.520 in	0.701 in	0.276 in	0.236 in	M4 ↓ 0.197 in	≈2.1 lb
100 sccm~500 slpm	138 mm	82 mm	38 mm	62 mm	30 mm	10 mm	10 mm	M4 ↓ 8 mm	≈1.3 kg
100 sccm~500 slpm	5.43 in	3.22	1.496	2.220	1.181	0.393	0.393 in	M4 ↓ 0.31 in	≈2.88 lb