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由流量傳感器、分流器、通道、流量調(diào)節(jié)閥和控制電路等部件組成，結(jié)構(gòu)如上圖所示。氣體通過質(zhì)量流量控制器（簡稱MFC）時，大部分氣體通過層流元件，成比例的部分氣體通過流量傳感器。 采用恒溫差方案的熱式傳感器將流量信號轉(zhuǎn)換為申信號，以此為基準(zhǔn)測量當(dāng)前通過MFC的氣體流量大小.

MFC330 系列氣體質(zhì)量流量計/控制器，其結(jié)構(gòu)包含毛細(xì)管柱式流量傳感器、旁路分流系統(tǒng)、高精度比例閥和控制系統(tǒng)。 被測氣體進(jìn)入后，先通過傳感器和旁路分流系統(tǒng)。由傳感器實時測量氣體流量、高精度比例閥動態(tài)響應(yīng)快速調(diào)節(jié)氣體流量至設(shè)定值。測量與調(diào)節(jié)流量的閉環(huán)結(jié)構(gòu)，即使環(huán)境溫度變化或進(jìn)出口氣壓波動，依然能夠保持穩(wěn)定的流量控制。

氣體流量控制器MFC300 系列氣體質(zhì)量流量計/控制器，該系列采用 MEMS 流量傳感器，自帶溫度和壓力補(bǔ)償。具有響應(yīng)速度快，寬量程比、壓損小、體積小巧安裝方式靈活的特點。

氮氣質(zhì)量流量控制器（MFC）是一種用于精確測量和控制氣體質(zhì)量流量的設(shè)備?。 該設(shè)備的工作原理基于流體力學(xué)和傳熱原理，通過質(zhì)量流量傳感器測量氣體流經(jīng)管道時的壓差和溫度變化，進(jìn)而計算出氣體的質(zhì)量流量，并通過控制閥門調(diào)節(jié)氣體流量，使其保持在設(shè)定的范圍內(nèi)?。

數(shù)顯氣體質(zhì)量流量計 MFM毛細(xì)管熱質(zhì)量流量計,直接測量較低流量范圍內(nèi)的清潔氣體和混合氣體的質(zhì)量流量。

氫氣流量控制器MFC330 系列氣體質(zhì)量流量計/控制器，其結(jié)構(gòu)包含毛細(xì)管柱式流量傳感器、旁路分流系統(tǒng)、高精度比例閥和控制系統(tǒng)。 被測氣體進(jìn)入后，先通過傳感器和旁路分流系統(tǒng)。由傳感器實時測量氣體流量、高精度比例閥動態(tài)響應(yīng)快速調(diào)節(jié)氣體流量至設(shè)定值。測量與調(diào)節(jié)流量的閉環(huán)結(jié)構(gòu)，即使環(huán)境溫度變化或進(jìn)出口氣壓波動，MFC330 依然能夠保持穩(wěn)定的流量控制。