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氣體質(zhì)量流量控制器(MassFlowController,簡稱MFC)是一種用于精確控制氣體流量的儀器。其工作原理如下:一、基本結(jié)構(gòu)流量傳感器MFC內(nèi)部通常采用熱式質(zhì)量流量傳感器。這種傳感器基于熱傳導(dǎo)原理工作。它有兩個溫度傳感器(RTD,電阻溫度探測器)和一個加熱元件。加熱元件位于兩個溫度傳感器中間。當(dāng)氣體流過時,帶走熱量,根據(jù)熱量傳遞的原理,氣體流速不同,帶走熱量的速度也不同,進(jìn)而導(dǎo)致兩個溫度傳感器之間產(chǎn)生溫度差。通過測量這個溫度差,可以計(jì)算出氣體的質(zhì)量流量。流量控制閥MF...
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真實(shí)案例:某客戶反饋,他們用浮子流量計(jì)校準(zhǔn)愛拓利的質(zhì)量流量計(jì)時,發(fā)現(xiàn)在同樣的情況下,浮子流量計(jì)和質(zhì)量流量計(jì)測出來的流量值差異較大。情況分析:出現(xiàn)這種情況,可能是由于標(biāo)況(20℃,1atm)和工況(實(shí)際工作時的壓力、溫度)不同導(dǎo)致的。皂膜流量計(jì)和浮子流量計(jì)都屬于工況流量計(jì),實(shí)際測量的是工況下的體積流量。愛拓利MFM/MFC屬于標(biāo)況流量計(jì)。要將他們的流量測量值做比較,需要考慮溫度和壓力的影響。工況和標(biāo)況流量的換算:Fs為標(biāo)況流量,F(xiàn)g為工況流量Ts為標(biāo)準(zhǔn)條件下的溫度,Tg為工藝條...
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真實(shí)案例:某客戶使用我們的MFC330時,發(fā)現(xiàn)重復(fù)性不佳;他多次測試,發(fā)現(xiàn)有時候重復(fù)性很好控制氣流穩(wěn)定,但有時候無法達(dá)標(biāo),覺得這個現(xiàn)象非常奇怪,于是聯(lián)系了我們的技術(shù)人員進(jìn)行排查。故障排查:1.檢查氣路通道的氣密性,是否存在漏氣現(xiàn)象;2.確認(rèn)流量計(jì)預(yù)熱了5-30min(不少于5min)3.檢查流量計(jì)是否有零漂現(xiàn)象,確認(rèn)流量計(jì)已歸零;4.聯(lián)系A(chǔ)itoly工程師獲取技術(shù)支持(熱線電話:4008-919-886)故障診斷:在我們技術(shù)人員的逐步排查下,發(fā)現(xiàn)客戶在實(shí)驗(yàn)臺進(jìn)行MFC330測...
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