在 PECVD 過程中,需要精確配比反應氣體,如硅烷(SiH?)、氨氣(NH?)等。氣體質(zhì)量流量控制器MFC能夠準確測量和控制這些氣體的流量,確保薄膜的厚度、均勻性和光電性能達到理想狀態(tài),從而提高光伏電池的轉換效率和穩(wěn)定性。
PVD(物理氣相沉積):PVD 過程中,也需要對各種反應氣體進行精確控制。氣體質(zhì)量流量控制器可以根據(jù)工藝要求,穩(wěn)定地提供所需的氣體流量,保證沉積薄膜的質(zhì)量和性能,滿足光伏電池的生產(chǎn)需求。
應用產(chǎn)品