產(chǎn)品型號:
更新時間:2025-03-31
廠商性質:生產(chǎn)廠家
訪 問 量 :24
18168878188
產(chǎn)品分類
MFC300 系列氣體質量流量計/控制器,該系列采用 MEMS 流量傳感器,自帶溫度和壓力補償。具有響應速度快,寬量程比、壓損小、體積小巧安裝方式靈活的特點。
產(chǎn)品特點
超快響應:5ms 測量響應,300ms控制響應
高重復性,寬量程比
更小體積,安裝方便
無需預熱,使用便捷
分階流量控制軟件,靈活配置
主要參數(shù)
介質要求潔凈干燥無腐蝕性氣體
氣體種類 Air,N2,02,Ar,CH4,CO2
測量和控制范圍 0.2%-100%F.S. (1:500)
準確度 ±0.5%F.S.
重復精度 ±0.5%F.S.
線性度 ±0.2%F.S.
分辨率 0.1 sccm,0-1000 sccm;1 sccm,1-5 slpm (0.01 sccm,0-50 sccm可選)
傳感器響應時間 5ms
控制響應時間 300ms
預熱時間 ≤1s
閥門 常閉式
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