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愛(ài)拓利精準(zhǔn)流量測(cè)控

專注于微小氣體流量測(cè)量與控制

服務(wù)熱線:4008919886

產(chǎn)品中心

PRODUCTS CENTER
熱式質(zhì)量流量計(jì)
產(chǎn)品簡(jiǎn)介:

熱式質(zhì)量流量計(jì)MFM毛細(xì)管熱質(zhì)量流量計(jì),直接測(cè)量較低流量范圍內(nèi)的清潔氣體和混合氣體的質(zhì)量流量。

產(chǎn)品型號(hào):MFM330

更新時(shí)間:2025-03-24

廠商性質(zhì):生產(chǎn)廠家

訪 問(wèn) 量 :74

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產(chǎn)品介紹

熱式質(zhì)量流量計(jì)MFM毛細(xì)管熱質(zhì)量流量計(jì),直接測(cè)量較低流量范圍內(nèi)的清潔氣體和混合氣體的質(zhì)量流量。

   產(chǎn)品特點(diǎn)

精準(zhǔn)質(zhì)量流量測(cè)量/控制

快速響應(yīng)、高重復(fù)性

不受溫度和壓力的影響

低壓損可選

集成顯示器可選

經(jīng)濟(jì)有效的解決方案

主要參數(shù)
  • 介質(zhì)要求
    潔凈干燥氣體
  • 氣體種類
    98+氣體可選
  • 量程
    10,20,50,100,300,500 sccm
    0-1,2,5,10,20,30,50,100,200,500slpm
  • 測(cè)量范圍
    0.5%-100% F.S.
  • 準(zhǔn)確度
    ±0.5% F.S.
  • 重復(fù)精度
    ±0.2%F.S.
  • 線性度
    ±0.2%F.S.
  • 分辨率
    0.001 sccm(<10L/min),1sccm(10-50L/min)
  • 傳感器響應(yīng)時(shí)間
    <1s
  • 預(yù)熱時(shí)間
    5 min(T95),30 分鐘最佳

機(jī)械特性    最大工作壓力  3 MPa(30bar)

工作壓差范圍  0-1 MPa

工作溫度范圍  -20~65℃(環(huán)境和氣體)

濕度范圍  0 ~ 98%無(wú)凝露

氣路接頭類型  快插、快擰、卡套、VCR(可選)

氣體接觸材質(zhì)  氟橡膠、316不銹鋼

密封材質(zhì)  氟橡膠 FKM

防護(hù)等級(jí)  IP40

安裝方式  水平安裝方向校準(zhǔn)

固定孔  M4 ? 5mm

重量  0.82kg

電氣和通訊

電氣連接接口類型  DB-9 公頭

模擬信號(hào)  0 - 5 VDC,4 - 20 mA(可定制)

輸入輸出阻抗  輸入阻抗>10MΩ,輸出阻抗<1KΩ

模擬數(shù)據(jù)更新頻率  200Hz

數(shù)字信號(hào)  RTU (RS232, RS485),CAN

通信速率  9600(默認(rèn)),14400,19200,38400,56000,57600,115200 bps(可修改)

電源  15-40 VDC,<200 mA

顯示更新頻率  50Hz

模擬信號(hào)精度  ±0.05%F.S.


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