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愛拓利精準(zhǔn)流量測控

專注于微小氣體流量測量與控制

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熱式氣體流量計
產(chǎn)品簡介:

熱式氣體流量計 MFC330 系列氣體質(zhì)量流量計/控制器,其結(jié)構(gòu)包含毛細(xì)管柱式流量傳感器、旁路分流系統(tǒng)、高精度比例閥和控制系統(tǒng)。 被測氣體進(jìn)入后,先通過傳感器和旁路分流系統(tǒng)。由傳感器實時測量氣體流量、高精度比例閥動態(tài)響應(yīng)快速調(diào)節(jié)氣體流量至設(shè)定值。測量與調(diào)節(jié)流量的閉環(huán)結(jié)構(gòu),即使環(huán)境溫度變化或進(jìn)出口氣壓波動,MFC330 依然能夠保持穩(wěn)定的流量控制。

產(chǎn)品型號:MFC330

更新時間:2025-01-24

廠商性質(zhì):生產(chǎn)廠家

訪 問 量 :316

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產(chǎn)品介紹

我公司自主研發(fā)的 MFC330 氣體質(zhì)量流量控制器(以下簡稱 MFC330),

主要用于對氣體的質(zhì)量流量進(jìn)行精確測量和控制。采用優(yōu)質(zhì)的核心部件、高 性能的處理器芯片、智能的控制算法及簡潔直觀的操作界面,使氣體流量控 制更加精準(zhǔn)、穩(wěn)定和簡便,內(nèi)置溫度和壓力傳感器,采集氣路溫度、壓力值 外,進(jìn)一步對氣體流量控制進(jìn)行溫壓補(bǔ)償;支持多種通訊協(xié)議,可以方便高 效的與電腦、PLC、工業(yè)觸摸屏、單片機(jī)等進(jìn)行通訊;具有多氣體測量,高  精度,高穩(wěn)定性,極低零漂等特性。

MFC330在半導(dǎo)體和集成電路工業(yè)、特種材料學(xué)科、化學(xué)工業(yè)、石油工

業(yè)、醫(yī)藥、環(huán)保和真空等多種領(lǐng)域的科研和生產(chǎn)中有著重要的應(yīng)用。其典型 的應(yīng)用場合包括:  電子工藝設(shè)備,  如擴(kuò)散、氧化、外延、 CVD、等離子刻

蝕、濺射、離子注入;  以及鍍膜設(shè)備、光纖熔煉、微反應(yīng)裝置、混氣配氣系 統(tǒng)、毛細(xì)管測量、氣相色譜儀及其它分析儀器。

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