MFC300-03A 氣體質(zhì)量流量控制器,該系列采用 MEMS 流量傳感器,自帶溫度和壓力補(bǔ)償。具有響應(yīng)速度快,寬量程比、壓損小、體積小巧安裝方式靈活的特點(diǎn)。
產(chǎn)品型號(hào):MFC300-03A
更新時(shí)間:2025-01-09
廠商性質(zhì):生產(chǎn)廠家
訪 問 量 :313
18168878188
產(chǎn)品分類
MFC300-03A 氣體質(zhì)量流量控制器,該系列采用 MEMS 流量傳感器,自帶溫度和壓力補(bǔ)償。具有響應(yīng)速度快,寬量程比、壓損小、體積小巧安裝方式靈活的特點(diǎn)。
MFC300-03A 氣體質(zhì)量流量控制器工作原理
超快響應(yīng):5ms 測量響應(yīng),300ms控制響應(yīng)
高重復(fù)性,寬量程比
更小體積,安裝方便
無需預(yù)熱,使用便捷
分階流量控制軟件,靈活配置
滿量程 | 高 | 款 | 深度 | A | B | C | D | E | 重量 |
5 sccm~5 slpm | 66.20 mm | 51.00 mm | 39.00 mm | 43.70 mm | 27.40 mm | 4.30 mm | 5.80 mm | M4 ↓ 5 mm | ≈0.38 kg |
2.606 in | 2.008 in | 1.535 in | 1.720 in | 1.079 in | 0.169 in | 0.228 in | M4 ↓ 0.197 in | ≈0.84 lb |
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