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當(dāng)前位置:首頁產(chǎn)品中心流量計(jì)氣體質(zhì)量流量控制器MFC300-03A氣體質(zhì)量流量控制器

氣體質(zhì)量流量控制器
產(chǎn)品簡介:

MFC300-03A 氣體質(zhì)量流量控制器采用 MEMS 流量傳感器,自帶溫度和壓力補(bǔ)償。具有響應(yīng)速度快,寬量程比、壓損小、體積小巧安裝方式靈活的特點(diǎn)。

產(chǎn)品型號(hào):MFC300-03A

更新時(shí)間:2025-01-09

廠商性質(zhì):生產(chǎn)廠家

訪 問 量 :313

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產(chǎn)品介紹

MFC300-03A 氣體質(zhì)量流量控制器,該系列采用 MEMS 流量傳感器,自帶溫度和壓力補(bǔ)償。具有響應(yīng)速度快,寬量程比、壓損小、體積小巧安裝方式靈活的特點(diǎn)。

氣體質(zhì)量流量控制器


MFC300-03A 氣體質(zhì)量流量控制器工作原理


產(chǎn)品特點(diǎn)

超快響應(yīng):5ms 測量響應(yīng),300ms控制響應(yīng)

高重復(fù)性,寬量程比

更小體積,安裝方便

無需預(yù)熱,使用便捷

分階流量控制軟件,靈活配置


主要參數(shù)
  • 介質(zhì)要求
    潔凈干燥無腐蝕性氣體
  • 氣體種類
    Air,N2,02,Ar,CH4,CO2
  • 量程
    0-5,10,20,50,100,300,500 sccm;0-1,2,3,4,5 slpm
  • 測量和控制范圍
    0.2%-100%F.S. (1:500)
  • 準(zhǔn)確度
    ±0.5%F.S.
  • 重復(fù)精度
    ±0.5%F.S.
  • 線性度
    ±0.2%F.S.
  • 分辨率
    0.1 sccm,0-1000 sccm;1 sccm,1-5 slpm (0.01 sccm,0-50 sccm可選)
  • 傳感器響應(yīng)時(shí)間
    5ms
  • 控制響應(yīng)時(shí)間
    300ms
  • 預(yù)熱時(shí)間
    ≤1s
  • 閥門
    常閉式
  • 泄漏率
    1*10-11Pa.m3/sec He




機(jī)械特性
  • 最大工作壓力
    1.1 MPa(11bar)
  • 工作壓差范圍
    0-1 MPa
  • 工作溫度范圍
    0-65℃(環(huán)境和氣體)
  • 溫度范圍
    0 - 98%無凝露
  • 氣路接頭類型
    快插、快擰、卡套、VCR(可選)
  • 氣體接觸材質(zhì)
    氟橡膠、黃銅、300-系列不銹鋼、硅
  • 密封材質(zhì)
    氟橡膠 FKM
  • 防護(hù)等級(jí)
    IP40
  • 安裝方式
    任意方向安裝
  • 固定孔
    M4 ↓ 5mm
  • 重量
    0.38kg


電氣和通訊
  • 電氣連接接口類型
    DB-9 male
  • 模擬信號(hào)
    0 - 5 VDC,4-20mA(可定制)
  • 輸入輸出阻抗
    輸入阻抗>10MΩ,輸出阻抗<600Ω
  • 量程
    0-2,10,20,30,100,300,500sccm
    0-1,2,5,10,20,30slpm
  • 通信速率
    9600(默認(rèn)),14400,19200,38400 bps(用戶可修改)
  • 電源
    15-40 VDC,100 mA



特征
  • 標(biāo)況
    20℃,1 atm
  • 氣體選擇
    可選,具體參考說明書氣體系數(shù)
  • 軟件
    Aitoly分階流量軟件



尺寸
滿量程深度ABCDE重量
5 sccm~5 slpm66.20 mm51.00 mm39.00 mm43.70 mm27.40 mm4.30 mm5.80 mmM4 ↓ 5 mm≈0.38 kg
2.606 in2.008 in1.535 in1.720 in1.079 in0.169 in0.228 inM4 ↓ 0.197 in≈0.84 lb



氣體質(zhì)量流量控制器
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氣體質(zhì)量流量控制器





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