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愛拓利精準流量測控

專注于微小氣體流量測量與控制

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產品中心

PRODUCTS CENTER

當前位置:首頁產品中心流量計氣體質量流量控制器MFC330微小氣體流量質量控制器

微小氣體流量質量控制器
產品簡介:

微小氣體流量質量控制器(MFC)與氣體質量流量計(MFM),MFC是帶有控制氣體質量流量的裝置,而MFM是不具有控制氣體質量流量功能的裝置,無錫愛拓利電子科技有限公司作為氣體質量流量控制器廠家,生產和出口流量控制器,熱式流量計,氣體流量計,質量流量計,質量氣體流量計,氧氣流量計。

產品型號:MFC330

更新時間:2025-01-09

廠商性質:生產廠家

訪 問 量 :242

服務熱線

18168878188

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產品介紹

主要參數 SENSOR AND CONTROL PERFORMANCE

介質要求 Applicable media

潔凈干燥氣體 Clean, dry gases

氣體種類 Gas type

98+氣體可選 Available for 98+ types of gas

量程 Full Scale(N2 equivalent)

0-2, 10, 20, 50, 100, 300, 500 sccm;0-1, 2, 5, 10, 20, 30 slpm

測量范圍measurement range

0.5%F.S. (1:200)

控制范圍 Control range

1% - 10 0% F.S. (1:100)

準確度 Accuracy

標準 Standard±1% F.S.   高精度High Performance±0.5%

重復精度Repeatability

±0.2% F.S.

線性度Linearity

±0.2% F.S.

控制響應時間 Settling time (in control)

<3秒  

預熱時間 Warm-up time

5 min (T95), 30分鐘 30min for optimum accuracy

閥門Valve function

常閉式 Normally Closed

泄露率 Leak integrity

1*10-8 Pa·m3/sec He

機械特性 MECHANICAL

工作壓力 Maximum pressure

3 MPa (30bar

工作壓差范圍 Operating differential pressure

0 ~ 1 MPa

工作溫度范圍Operating temperature range

-20 ~ 65℃ (環(huán)境和氣體 ambient and gas)

濕度范圍 Relative humidity range

0 ~ 98% 無凝露 No-condensing

氣路接頭類型Process connections

卡套,、VCR、快插、快擰 (可選)

(Push-in fitting, Push-on fitting, Compression fitting, VCR optional)

氣體接觸材質Material

氟橡膠、304/316不銹鋼 (FKM, 300-series Stainless steel)

密封材質Seals

氟橡膠 FKM

防護等級 Ingress protection (housing)

IP40

安裝方式 Mounting

水平安裝方向校準 Calibrated in horizontal mounting orientation

固定孔 Mounting holes

M4   5mm

重量 Weight

0.96 kg

電氣和通訊 COMMUNICATIONS

電氣連接接口類型Electrical connection

DB 9公頭 (Male)

模擬信號 Analog input and output options

0 5 VDC, 4 20 mA (可定制)

輸入輸出阻抗 Impedance resistance

輸入阻抗>10MΩ,輸出阻抗<1KΩ

模擬數據更新頻率Analog data update rate

200Hz

數字信號 Digital input and output options

Modbu RTU (RS232, RS485), CAN

通信速率 Digital data update rate

9600(默認), 14400, 19200, 38400, 56000, 57600, 115200 bps(用戶可修改

電源 Power requirements

15 40 VDC,<200mA

顯示更新頻率Display update rate

50Hz

模擬信號精度 Analog signal accuracy

±0.05%F.S.

特征 FRATURE

標況 STP reference conditions

20℃, 1 atm

氣體選擇Gas Select

可選,具體參考說明書氣體系數

軟件Software

Aitoly分階流量軟件


尺寸 DIMENSIONS

Weight

Full scale flow

Height

Width

Depth

A

B

C

D

E

2 sccm~30 slpm

125.00 mm

76.00 mm

32.00 mm

64.00 mm

17.80 mm

7.00 mm

6.00 mm

M4     5mm

≈0.96 kg

4.921 in

2.992 in

1.260 in

2.520 in

0.701 in

0.276 in

0.236 in

M4     0.197 in

≈2.1 lb

100slpm-500slpm

138mm

82mm

38mm

62.mm

30mm

4mm

10mm

M4     8mm

1.3kg

5.43in

3.22

1.496

2.220

1.181

0.157

0.393

M4    0.31in

2.88lb

















·微小氣體流量質量控制器MFC330系列使用毛細管柱傳感器,其傳感器、比例閥等核心器件均為自主研發(fā),具有穩(wěn)定性高、抗腐

蝕、高精度、高重復性等特點。

·MFC300微小氣體流量質量控制器系列使用MEMS傳感器原理,該系列產品具有響應速度快、無需預熱、精確度高等特點;·另有皂膜氣體流量標準裝置,應用及第三方檢定單位。

·Aitoly 氣體質量流量計廣泛應用于科研院所、半導體、光伏、真空鍍膜、分析儀器、生物工藝和生物反應、環(huán)境保護、石化、食品、工業(yè)自動化及等等。

愛拓利具有高水平的產品設計、結構、硬件和軟件研發(fā)水平, 擁有自主知識產權的氣體質量流量計及控制器核心部件(高精度氣體質量流量傳感器和高穩(wěn)定性微型比例閥、全金屬密封比例閥)及生產設備,是國內少數能夠全面自主研發(fā)生產高精度氣體質量流量計和氣體質量流量控制器的企業(yè)之一?!耙躁P鍵技術自主研發(fā)為核心使命、以市場為導向",愛拓利致力于為用戶提供精準、穩(wěn)定、可靠的標準化產品、定制化服務和解決方案。








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