MFC330 傳感器基于毛細(xì)管柱熱式傳感器,毛細(xì)管傳感器管通過氣體的熱容量來測量其內(nèi)部質(zhì)量流量,氣體的熱量將熱量從上游電阻溫度檢測器繞組帶到下游繞組,二者都在傳感器管的外部。
氣流進(jìn)入MFC后,分成兩個內(nèi)部流路:
第一條路徑:流經(jīng)加熱的毛細(xì)管傳感器管,該管的直徑較小且長度較長。
第二條平行路徑:通過分流旁路。
兩條路徑的流量比例取決于分流柱的設(shè)定,出廠前完成該設(shè)定。
設(shè)定完成后,通過毛細(xì)管柱傳感器管和分流旁路的流量之比是恒定的。
毛細(xì)管傳感器管通過氣體的熱容量來測量其內(nèi)部質(zhì)量流量,氣體的熱量將熱量從上游電阻溫度檢測器繞組帶到下游繞組,二者都在傳感器管的外部。
需要預(yù)熱: 5min 內(nèi)達(dá)到 95% 流量精度,最長預(yù)熱30min
基于熱傳導(dǎo),MFC響應(yīng)速度≤ 1s 優(yōu)點:由于其非接觸式的結(jié)構(gòu),抗腐蝕,液體不損壞,過流不損壞。
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